主管:中国科学院
主办:中国优选法统筹法与经济数学研究会
   中国科学院科技战略咨询研究院
Channel Layout Optimization: A Case Study of Alignment Marks on Photomasks
张耀太, 逯兰, 徐宽
. .  DOI: 10.16381/j.cnki.issn1003-207x.2025.0928